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            半導體工藝中干式真空泵的種類

            油式真空泵是半導體行業中常用的真空泵種類,最主要的特點是真空度高,能滿足新型行業的特殊工藝要求,其中又以旋片式真空泵往復式真空泵為主要代表。隨著時間的推移,社會的進步,它們在各種應用中的表現越來越不能使人們感到滿意,比如旋片式真空泵不能抽水蒸氣和可凝性氣體及易腐蝕性氣體等,因此,干式真空泵應運而生。

            在過去的十多年里,有好幾種不同類型的干式真空泵被設計和生產出來,它們在機械結構設計上有明顯差異。因為這種差異,我們可以將干式真空泵歸納為以下幾種類型:圓裂片式,爪式,組合式,螺桿式。當今,這些類型被不同生產廠家所廣泛應用。其中,圓裂片式,爪式和組合式被稱為多級泵。

            因為它們的工作方式大致相同,都是利用多級真空腔對氣體進行反復的壓縮來產生真空。在多次反復壓縮的過程當中,氣體的溫度和壓力也產生比較復雜的變化,因而比較容易引起氣體物理特性的變化。而螺桿式被稱為單級泵,因為它只靠一個真空腔來產生真空。根據其氣體壓縮方式的不同,又可將其分為內部壓縮型螺桿泵和外部壓縮型螺桿泵。

            現在很多的干式真空泵應用到半導體行業中,用于取代油式真空泵.這樣做不僅滿足生產所需的真空度,也能滿足行業中的特殊工藝要求.

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